圆筒形反应器粉体纯化动力学分析Sheath kinematics analyses in cylinder chamber for particulate purity
陶甫廷;王敬义;冯信华;
摘要(Abstract)：
对圆筒形纯化反应器的等离子体鞘层进行了动力学分析,得出了鞘区内离子速度的分布函数和不同位置上的离子平均动能。理论计算结果与实验数据吻合较好,对理论和实验工作方面都具有一定的指导意义。
关键词(KeyWords)： 粉体刻蚀;分布函数;等离子体纯化
基金项目(Foundation): 国家自然科学基金资助项目(10265002)。
作者(Author): 陶甫廷;王敬义;冯信华;
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参考文献(References)：
- [1]王敬义.薄膜生长理论[M].武汉:华中理工大学出版社,1993.312-313.
- [2]C.WildandP.Koidl,J.Appl.Phys[J].1991,69(5):2909-2922.
- [3]NaokiMizutaniandToshioHayashi,J.Vac.Sci.Technol[J].2001,A19(4):1298-1303.
- [4]V.Vahedi,M.A.Liebermanetal.,J.Appl.Phys[J].1991,69(4):2008-2014.
- [5]陶甫廷,王敬义.靶面化合物覆盖度的计算方法研究[J].稀有金属材料与工程,2003,32(1):13-17.
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