广西科技大学学报

2005, (04) 10-14

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圆筒形反应器粉体纯化动力学分析
Sheath kinematics analyses in cylinder chamber for particulate purity

陶甫廷;王敬义;冯信华;

摘要(Abstract):

对圆筒形纯化反应器的等离子体鞘层进行了动力学分析,得出了鞘区内离子速度的分布函数和不同位置上的离子平均动能。理论计算结果与实验数据吻合较好,对理论和实验工作方面都具有一定的指导意义。

关键词(KeyWords): 粉体刻蚀;分布函数;等离子体纯化

Abstract:

Keywords:

基金项目(Foundation): 国家自然科学基金资助项目(10265002)。

作者(Author): 陶甫廷;王敬义;冯信华;

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