广西科技大学学报

2001, (02) 8-11

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粉粒沉降过程中冷等离子体纯化效果研究
A study of purity effects of cold plasma during the process of Si-Ge particulates drop

陶甫廷,王敬义,冯信华,陶臻宇,陈文辉,张巍,苏庆平,何笑明

摘要(Abstract):

本文通过实验证实了粉粒沉降过程中冷等离子体的纯化作用 ,并探索了阴极板温度、放电电流、放电时间等参数对纯化效果的影响 ,从而为工业应用奠定了基础

关键词(KeyWords): 冷等离子体;粉粒沉降;纯化效果

Abstract:

Keywords:

基金项目(Foundation): 广西自然科学基金资助项目 (批准号 :9912 0 0 4)

作者(Author): 陶甫廷,王敬义,冯信华,陶臻宇,陈文辉,张巍,苏庆平,何笑明

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