广西科技大学学报

2006, (02) 1-4+8

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太阳能级硅粉在等离子体中纯化研究
A study of purity of solar-grade silicon powder in plasma

陈政强;王敬义;陶甫廷;

摘要(Abstract):

给出了本研究中所采用工业硅的要求和太阳电池功率高达14%的P型硅材料中单一杂质的阀值。针对太阳能级硅的纯化要求和工业硅的特性,提出了等离子体对硅粒“刻蚀提纯”的新概念。增加鞘层厚度将使硅粉浸泡于高动能离子中的几率增加,钝化效应消失从而达到提高纯化速率的目的。所研制的新型纯化系统能够满足硅粒自旋、长沉降时间和重复纯化的条件,所给出的工艺参数能满足鞘层宽、离子浓度高的要求。实验结果显示这种新的提纯方法可望用于太阳能级硅的制备。

关键词(KeyWords): 太阳能级硅;等离子体纯化;粉粒表面刻蚀;鞘区离子动能

Abstract:

Keywords:

基金项目(Foundation): 国家自然科学基金资助项目(10265002)

作者(Author): 陈政强;王敬义;陶甫廷;

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