广西科技大学学报

2007, (04) 16-19

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边缘效应对微镜静态特性的影响
The influence of edge effects on the static characteristics of a micromirror

袁丽芸;梁志达;陆静;韦笑梅;

摘要(Abstract):

考虑边缘效应的影响,对微镜的静电力驱动扭矩进行了修正,建立了微镜的非线性力学模型,并利用增量迭代的方法求解微镜的静力学方程。数值分析表明,考虑边缘效应后微镜的扭转角增加,在一定情况下微镜的几何尺寸会对边缘效应产生很大的影响,主要因素是微镜的宽度与极板间距的比值。

关键词(KeyWords): 微镜;边缘效应;非线性方程;静态特性;增量迭代

Abstract:

Keywords:

基金项目(Foundation): 广西高校百名中青年学科带头人资助计划项目;; 广西自然科学基金(桂科自0481028)资助项目

作者(Author): 袁丽芸;梁志达;陆静;韦笑梅;

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