广西科技大学学报

2000, (04) 26-28+32

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冷等离子体对硅-锗纯化的实验研究
An experimental study of Si-Ge purified by cold plasma

陶甫廷,王敬义,冯信华,陶臻宇,张巍,陈文辉,苏庆平,何笑明

摘要(Abstract):

本文通过实验证实了冷等离子体对硅 -锗粉末的纯化作用 ,并探索了放电电流、放电时间、加热温度、反应器内总压力等参数对纯化效果的影响。从而为工业应用打下一定基础

关键词(KeyWords): 硅-锗纯化;冷等离子体;表面反应

Abstract:

Keywords:

基金项目(Foundation): 广西自然科学基金资助项目 !:(批准号 :9912 0 0 4)“冷等离子体冶炼硅 -锗合金的研究”

作者(Author): 陶甫廷,王敬义,冯信华,陶臻宇,张巍,陈文辉,苏庆平,何笑明

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