广西科技大学学报

2008, No.65(03) 1-4+9

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正弦激励下扭转微镜动态特性分析
Analysis on dynamic characteristics of a torsional micromirror driven by the harmonic excitation voltage

陆静;

摘要(Abstract):

考虑边缘效应的影响,建立了耦合扭转微镜的非线性动力学方程,研究了正弦激励下耦合扭转微镜的动力学特性。数值分析表明,在考虑了边缘效应后微镜的扭转角和垂直位移增大,响应的周期不变,共振频率约为固有频率的一半。

关键词(KeyWords): 微镜;边缘效应;非线性方程;动态特性;正弦激励

Abstract:

Keywords:

基金项目(Foundation): 广西高校百名中青年学科带头人资助计划项目;; 广西自然科学基金(桂科自0481028)资助项目资助

作者(Author): 陆静;

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DOI: 10.16375/j.cnki.cn45-1395/t.2008.03.020

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